痕量氣體分析儀可以同時(shí)測(cè)量大氣環(huán)境或者工業(yè)流程中的HCl、HF和水汽濃度，高精度、高靈敏度。分析儀可以提供秒級(jí)的測(cè)量速度，同時(shí)精度達(dá)到ppb級(jí)。測(cè)試結(jié)果表明，分析儀不受其他氣體種類和氣壓的干擾。
本系統(tǒng)設(shè)計(jì)為在線連續(xù)監(jiān)測(cè)，氣流從采樣點(diǎn)通過(guò)管路進(jìn)入儀器，沒(méi)有任何人為的間斷，氣流量從0.5至2升/分鐘。基于DSP[數(shù)字信號(hào)處理器]的電子裝置控制本系統(tǒng)，連續(xù)顯示氣體濃度，并提供更快的響應(yīng)時(shí)間(大約3秒鐘),結(jié)果直接顯示于計(jì)算機(jī)界面，能夠在線連續(xù)重復(fù)測(cè)量。
光腔衰蕩光譜技術(shù)(CRDS)通過(guò)測(cè)量時(shí)間而不是強(qiáng)度的變化來(lái)確定光學(xué)吸收。光源發(fā)出的脈沖激光進(jìn)入光腔并且由高反射率的鏡面形成的光程高達(dá)100km的多次反射中，每次都有少量的光透過(guò)鏡面而離開(kāi)光腔，這部分光就構(gòu)成了光衰蕩信號(hào)，它的強(qiáng)度變化可簡(jiǎn)單地用單指數(shù)衰減來(lái)描述。光強(qiáng)度以指數(shù)級(jí)迅速衰減直至為零，這種衰減被光電感應(yīng)器實(shí)時(shí)記錄，此時(shí)空光腔的衰蕩時(shí)間僅由鏡子的反射率決定。當(dāng)光腔中有氣體存在時(shí)，氣體分子對(duì)激光的吸收必將改變光腔衰蕩時(shí)間，并且其濃度與衰蕩時(shí)間的倒數(shù)（也即衰蕩速度）密切相關(guān)。T-I MAX系列連續(xù)排放污染物（CEMs）痕量氣體分析儀可連續(xù)自動(dòng)測(cè)量和計(jì)算比較空光腔與充有待測(cè)氣體的光腔的衰蕩時(shí)間差，繼而得出待測(cè)目標(biāo)氣體的濃度。
痕量氣體分析儀采用LGR設(shè)計(jì)的離軸積分腔輸出光譜（OA-ICOS）技術(shù)，它消除了CRDS技術(shù)在測(cè)量期間需要連續(xù)進(jìn)行光腔與激光波長(zhǎng)匹配以改善信號(hào)強(qiáng)度微弱的缺點(diǎn)，使得分析儀不再需要進(jìn)行復(fù)雜的激光準(zhǔn)直調(diào)整、溫度控制和波長(zhǎng)監(jiān)控。可以實(shí)時(shí)顯示高分辨率激光吸收光譜。采用內(nèi)置計(jì)算機(jī)（Linux OS）以提供數(shù)據(jù)的連續(xù)存儲(chǔ)和測(cè)量。具有遠(yuǎn)程控制功能，用戶可以通過(guò)網(wǎng)絡(luò)在任意地點(diǎn)對(duì)分析儀進(jìn)行操作，也可以通過(guò)遠(yuǎn)程登錄實(shí)時(shí)共享數(shù)據(jù)，并進(jìn)行儀器診斷。
特點(diǎn)
*歸功于低檢出限的早期氨氣監(jiān)測(cè)—低至ppb的零頭。
*不用手動(dòng)操作，連續(xù)實(shí)時(shí)測(cè)量。
*高選擇性—排除其他氣體的干擾。
*免維護(hù)和免校正操作，GX節(jié)約人力消耗。
*長(zhǎng)時(shí)限穩(wěn)定性—*的偏差補(bǔ)償。
*友好的用戶圖形界面簡(jiǎn)化系統(tǒng)操作。
*無(wú)需化學(xué)或放射性原料，減少所有者的開(kāi)銷。
高測(cè)量選擇性，因而可以完成完整而清晰的氣體鑒定。通過(guò)一個(gè)鐳射源(單一光譜線)選擇待測(cè)氣體的對(duì)應(yīng)吸收譜線，選擇鐳射波長(zhǎng)可以避免影響測(cè)量值的其他常見(jiàn)組分的干擾。被激烈的文件自動(dòng)存入一個(gè)文件，允許無(wú)人管理的測(cè)量，歷史數(shù)據(jù)可從磁盤(pán)中的分析數(shù)據(jù)很容易地通過(guò)遠(yuǎn)程恢復(fù)。事件，諸如運(yùn)行起止時(shí)間，警報(bào)，系統(tǒng)信息，設(shè)置更改等存入一個(gè)記錄文件。
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